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用于半導體硅片擴散源噴涂的設備程序
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dayug
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樓主
發表于: 2011-05-19 23:43
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一種用于半導體硅片擴散源噴涂的設備程序。分XY軸,使用步進電機。三菱PLC。
附件:
噴源機.rar
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yerong
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1樓
發表于: 2011-05-20 07:06
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有電路圖嗎??
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hzhuang
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2樓
發表于: 2011-05-20 11:28
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最好帶上圖紙。。。。。。。。。。。
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老家伙學電工
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3樓
發表于: 2011-05-20 12:16
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沒有IO圖的程序就是堆狗屎。
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用于半導體硅片擴散源噴涂的設備程序
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